वैक्यूम मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग तकनीक, कैथोड सतह के बहाव में इलेक्ट्रॉन के चुंबकीय क्षेत्र के साथ महिला, द्विध्रुवी इलेक्ट्रोड सतह का उपयोग है, लक्ष्य सतह विद्युत क्षेत्र को चुंबकीय क्षेत्र के लंबवत सेट करके, इलेक्ट्रॉन स्ट्रोक बढ़ाता है, आयनीकरण की दर में वृद्धि करता है। गैस की, जबकि उच्च-ऊर्जा कण गैस और टक्कर के बाद ऊर्जा खो देते हैं और इतना कम सब्सट्रेट तापमान, एक गैर-तापमान प्रतिरोधी सामग्री पर पूर्ण कोटिंग।