एल्यूमिनियम मिरर इनलाइन मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लाइन
मुख्य विशेषताएं
- एल्यूमिनियम मिरर इनलाइन मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लाइन आमतौर पर ग्लास शीट पर वैक्यूम कोटिंग को पूरा करने के लिए कई वैक्यूम कक्षों के साथ आती है।
- मुख्य विशेषताएं:
- 1.Max.glass कोटिंग का आकार: 2440x3660mm या अनुकूलित
- 2. बहु-वैक्यूम कक्ष और बहु-स्पटरिंग कक्ष डिज़ाइन उपलब्ध हैं
- 3. क्षैतिज चुंबकीय नियंत्रण रेखा में सिंगल-एंड और डबल-एंड संरचना होती है;ग्लास डबल क्लीनिंग, कोटिंग, डिटेक्शन, पेंटिंग, ड्रायिंग, कूलिंग सभी को एक बार में खत्म किया जा सकता है
- 4. स्पटरिंग कोटिंग लाइन पूरी प्रक्रिया नियंत्रण के लिए पीएलसी का उपयोग करती है और कोटिंग प्रक्रिया डेटा दिखाने के लिए रंगीन स्क्रीन से लैस है
कोटिंग्स की परत: टाइटेनियम, क्रोम, स्टेनलेस स्टील, एल्यूमीनियम, चांदी, तांबा, आदि।
- यौगिक: TiN, TiO2, आदि।
- परत की मोटाई: 5-100 एनएम
- संचरण: 380-780 एनएम तरंग दैर्ध्य पर 8-40%
- जमाव तापमान: कमरे का तापमान
- 8 घंटे पंप-डाउन के बाद अंतिम दबाव:
- एंट्री लॉक चेंबर और वैक्यूम लॉक चेंबर: 5×10-1 Pa या उससे कम
- बफर चैंबर 1 : 3×10-3 पा या उससे कम
- स्पटरिंग चैंबर: 2×10-3 Pa या नीचे
- बफर चैंबर 2 : 3×10-3 पा या उससे कम
- एग्जिट लॉक चेंबर और वैक्यूम लॉक चेंबर: 5×10-1 Pa या उससे कम
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