इनलाइन मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग सिस्टम
इनलाइन मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन मुख्य रूप से डीसी (या एमएफ) मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग को लक्ष्यों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए अनुकूलित किया जा सकता है, जैसे: तांबा, टाइटेनियम, क्रोमियम, स्टेनलेस स्टील, निकल और अन्य धातु सामग्री जिन्हें स्पटरिंग प्रक्रिया का उपयोग करके लेपित किया जा सकता है। फिल्म आसंजन, प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्यता, घनत्व, एकरूपता और अन्य विशेषताओं में सुधार कर सकते हैं।
- एक।बुनियादी विशेषताएं और पैरामीटर
- बी।क्षैतिज रेखा संरचना को एक साथ एक तरफ लेपित महसूस किया जा सकता है
- सी।उत्पादन दक्षता, 1 मिनट / बीट तक की सबसे तेज गति
- डी।मॉड्यूलर डिजाइन, आसान रखरखाव
- इ।चढ़ाना प्रक्रिया परिपक्वता, उच्च उपज
- एफ।डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कैथोड ग्राहकों की आवश्यकताओं के आधार पर भिन्न हो सकते हैं
- जी।निर्वात प्रणाली एक यांत्रिक पंप, जड़ पंप, प्रसार पंप (आणविक पंप) संरचना के होते हैं
- एच।ग्राहकों की आवश्यकताओं के आधार पर लाइन बॉडी का आकार भिन्न हो सकता है
- 1) निर्वात कक्ष शरीर सामग्री SUS304 का इस्तेमाल किया, एक निर्वात कक्ष दीवार उपचार चमकाने, बाहरी दीवार स्प्रे चमकाने मोती प्रसंस्करण।
- 2) निर्वात कक्ष के बीच एक स्वतंत्र गेट वाल्व का उपयोग करना - फ्लैपर वाल्व अलग, प्रभावी ढंग से काट सकता है, प्रक्रिया गैस को स्थिर कर सकता है।वर्तमान में हमारी कंपनी फ्लैपर वाल्व डिजाइन को अपनाती है, यह मौजूदा घरेलू आम फ्लैप वाल्व की तुलना में बेहतर, अधिक टिकाऊ है।
- 3) ट्रांसमिशन चुंबकीय गाइड का उपयोग करता है, ड्राइव की स्थिरता की रक्षा करता है।VVVF मोटर ड्राइव का उपयोग करके संपूर्ण उत्पादन लाइन की प्रत्येक गति के लिए, चलने की गति को समायोजित किया जा सकता है।
- 4) इलेक्ट्रिक कंट्रोल सिस्टम: टच स्क्रीन और पीएलसी ऑटोमैटिक कंट्रोल, डेटा डिस्प्ले सिस्टम, ऑपरेटिंग पैरामीटर और कंट्रोल टेक्नोलॉजी हासिल करने के लिए मैन-मशीन डायलॉग
- 1) अंतिम वैक्यूम दबाव: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) औसत उत्पादन चक्र: निर्धारित उत्पाद के अनुसार
- 3) सब्सट्रेट धारक का आकार: की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है
- 4) फिल्म एकरूपता: ± 3% उन्नत मोबाइल फील्ड प्रौद्योगिकी ने लक्ष्य उपयोग में काफी वृद्धि की है
- खंडित हीटर डिजाइन प्रक्रिया अनुकूलन के लिए अनुकूल है।
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